当前位置:真空中频电源真空镀膜设备的优缺点
本实用新型涉及一种真空镀膜设备中频电源电流监测装置，包括电流测量显示装置和报警装置，电流测量显示装置串联在真空镀膜设备中频电源的电流回路上，电流测量显示装置包括至少一个电流测量显示表和相应的电流波动报警设定模块，真空中频电源真空镀膜设备的优缺点，电流波动报警设定模块与报警装置电连接。
借助本实用新型，可以从电流测量显示表中直观地看到真空镀膜设备中频电源的电流，当电流波动超过预设的电流波动报警值时，可以发出声光报警，提醒操作人员及时进行处理，避免出现更多的次品。
涡轮分子泵是一种新型的超高真空设备，真空中频电源通过机械作用可以获得清洁无油。广泛应用于表面分析系统、分子束、离子束系统、真空镀膜以及其他需要无油真空的设备。1985年我厂研制成功的F-150分子泵为我国增加了一种新的超高真空采集设备。
泵的抽速为150升/秒，极限真空度优于10-10托，转速可达50000转/分。分子泵的叶轮由一台特殊的三相异步中频电机驱动高速旋转。过去，水泵由中频发电机供电。虽然它运行可靠，但噪音很大。微机控制的变频电源为F-150分钟
借助本实用新型，可以从电流测量显示表中直观地看到真空镀膜设备中频电源的电流，当电流波动超过预设的电流波动报警值时，可以发出声光报警，提醒操作人员及时进行处理，避免出现更多的次品。
泵的抽速为150升/秒，极限真空度优于10-10托，转速可达50000转/分。分子泵的叶轮由一台特殊的三相异步中频电机驱动高速旋转。过去，水泵由中频发电机供电。虽然它运行可靠，但噪音很大。微机控制的变频电源为F-150分钟
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